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無油真空泵獲得技術(shù)因其清潔抽空，節(jié)能環(huán)保等特點逐漸在各個領(lǐng)域得到了應(yīng)用。本文就無油真空泵的特點無油真空泵在多晶硅鑄錠爐中的應(yīng)用進(jìn)行一一的分析。多晶硅鑄錠爐的生產(chǎn)工藝是將熱交換法和布里曼法進(jìn)行了結(jié)合，硅在鑄錠爐內(nèi)發(fā)生結(jié)晶，硅錠生產(chǎn)加熱過程中底部的隔熱層和爐的保溫層確保了嚴(yán)密的閉合狀態(tài)，從而避免了硅錠生產(chǎn)熱量的外泄和溫度的不均衡造成的硅錠受熱不均衡，為硅錠長晶創(chuàng)造了良好的環(huán)境。

普諾克無油活塞真空泵在泵腔內(nèi)具有若干組相互嚙合的爪型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結(jié)構(gòu)采用多級轉(zhuǎn)子串連的形式，每組轉(zhuǎn)子分別位于不同泵腔做同步反方向運動。泵腔被爪型轉(zhuǎn)子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉(zhuǎn)子連續(xù)運轉(zhuǎn)，進(jìn)行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

接下來，普諾克小編給大家介紹一下無油活塞真空泵的工作原理和特點。

無油活塞真空泵工作原理：

連桿通過軸承與偏心壓裝在一起，偏心輪鎖緊在電機(jī)軸上，由于轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，帶動連桿往復(fù)運動，從而實現(xiàn)空氣的的吸入、壓縮和排出過程。

無油真空泵的特點：

1、在使用真空，排氣的場合不含有油分，不會像油式真空泵那樣對作業(yè)環(huán)境或制品造成污染，能夠在各個領(lǐng)域使用。 　　

2、與油式真空泵相比，不需要給泵加油，基本不需要點檢和檢修。 　

3、運轉(zhuǎn)聲音低，使用壽命長。同時裝備有真空壓力表，調(diào)壓控制器。 　　

4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片，具有很強(qiáng)的耐磨性。 　　

5、由于能夠高速運轉(zhuǎn)，因此可以與電機(jī)直連。這樣可使泵小型化。 　　

6、由于多枚滑片的高速回轉(zhuǎn)，可使脈動很小，吸排氣穩(wěn)定。

多晶硅鑄錠爐已經(jīng)成為太陽能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要設(shè)備，加強(qiáng)其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)和設(shè)備組成情況的研究有利于提高鑄錠爐的生產(chǎn)水平，促進(jìn)硅片生產(chǎn)質(zhì)量的提高和太陽能光伏電池制造水平的進(jìn)步。

多晶硅的加工工藝對于真空度的要求較高，無油真空泵在多晶硅鑄錠爐中的應(yīng)用就是保持硅錠可以在真空狀態(tài)下得到處理。不同的工藝環(huán)節(jié)對于真空度的要求存在較大的差異，多晶硅鑄錠爐用無油真空泵需要對爐內(nèi)的壓力和真空狀態(tài)進(jìn)行控制和調(diào)整。多晶硅鑄錠爐除了有基礎(chǔ)的抽氣設(shè)備之外還設(shè)置了壓力檢測裝置，確保爐內(nèi)壓力在合適的范圍之內(nèi)，為多晶硅硅錠的生長提供良好的氣氛。