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真空泵廠家分析真空壓力控制系統(tǒng)如何優(yōu)化。芯片的刻蝕工藝通常要在一個受控的真空環(huán)境下工作，反應腔的功能是在真空環(huán)境中保持工藝參數(shù)需要的壓力，去除不需要的水汽、空氣和附加反應物；創(chuàng)建一個能夠使等離子體發(fā)生反應的真空環(huán)境。為了降低刻蝕機真空壓力控制系統(tǒng)的成本，實現(xiàn)高真空獲得設備的清潔化、簡單化和微型化，同時為了提高真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空，系統(tǒng)中的腔、真空泵以及連接管路和閥門的選配是很重要的。

刻蝕機為了保證刻蝕工藝需要的穩(wěn)定工作壓力，大抽速真空系統(tǒng)是必不可少的組成部分。普諾克真空泵廠家詳細地介紹反應腔、真空泵的選擇、真空閥門的選配、真空計和真空檢測開關、真空計和真空檢測開關和連接管路。

真空泵廠家分析真空壓力控制系統(tǒng)如何優(yōu)化？要從以下五個方面展開：

⑴反應腔

反應腔是真空系統(tǒng)的基本部件，不同刻蝕的反應腔形狀和大小不同，但都屬于受負壓的容器。為了增加芯片產(chǎn)能的需要反應腔采用的是多工位設計，這就需要真空泵的抽速滿足其要求。多工位設計要保證多個工位芯片的均勻性是很難的。必須加大真空泵的抽氣速率，分子泵是最好的選擇。根據(jù)不同工藝的需要，反應腔的工作壓力一般在10^-3-10^-2Torr之間，既要保證反應腔的真空度，又要保證工藝氣體的壓力，確保反應腔工作在真空穩(wěn)定的狀態(tài)下，這一直是真空泵廠家研究的課題。

⑵真空泵的選擇

真空泵是獲得真空的關鍵設備，至今還沒有一種泵能從大氣壓一直工作到接近超真空，必須兩種或以上的泵聯(lián)合使用，螺桿式干泵屬于容積泵類型，其工作循環(huán)可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程，其優(yōu)點是結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，重心低，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，振動小，噪音小。分子泵有牽引分子泵、渦輪分子泵和復合式分子泵等，分子泵的選型根據(jù)刻蝕反應腔壓力和容積的不同而不同。

⑶真空閥門的選配

選擇鐘擺閥是為了配合分子泵大口徑尺寸的需要，鐘擺閥的開度大反應腔的壓力就減小，但是當開度大到一定程度時，由于泵的抽速有限，反應腔的真空就被限制住了，真空壓力就不能繼續(xù)減小。所以要選擇鐘擺閥適合的工作開度，以滿足刻蝕工藝工作壓力的要求。

⑷真空計和真空檢測開關

真空計能時刻監(jiān)控反應腔和管路的壓力，在反應腔和管路上設置真空計，當真空度達到一定值時，開啟或關閉真空閥門。真空計的分類主要有兩種方法：①按真計讀數(shù)的刻度方法進行分類，即絕對真空計和相對真空計；②按真空計測量原理進行分類，即直接測量真空計和間接測量真空計。薄膜式電容真空計是間接測量的絕對真空計，由于具有性能穩(wěn)定，重復性好，而且其響應速度快，抗過載能力強，結(jié)構(gòu)牢固，使用方便的特點，因此被業(yè)界廣泛應用。為了安全考慮，真空管路必須設置大氣真空開關，當壓力值達到一個大氣壓時真空開關自動打開排氣，保護反應腔和管路系統(tǒng)的真空儀器。

⑸連接管

真空系統(tǒng)最重要的性能參數(shù)是其所能獲得的極限真空度和對反應腔的有效抽速，真空系統(tǒng)的極限真空度是指在沒有外加負荷的情況下，經(jīng)過足夠長時間的抽氣后，系統(tǒng)所能達的最低壓力。

進口真空泵廠家表示任何真空系統(tǒng)絕對不漏的現(xiàn)象是不可能的，所以真空管路上需要設置檢漏口，方便進行真空檢漏。